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    日本三豐

    CNC表面粗糙度·輪廓測量一體機 超級形狀測量儀

    簡介:CNC表面粗糙度·輪廓測量一體機 超級形狀測量儀
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    詳細說明

     • 高精度觸針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。

    • X1軸和Z2軸的最大驅動速度分別為40mm/s和200mm/s,可以高速定位,從而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。
    • X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺,從而可以實現高分辨力的輪廓/ 形狀測量、表面粗糙度的批量測量。
    • Z1軸檢出器采用主動控制方式,減少Z1軸動態測力變化的同時擴展了測量范圍。
    • Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置,當儀器主體與工件或夾具發生碰撞時,檢測裝置可以自動停止工作。
    • CS-5000CNC帶有a軸,可以通過電動旋轉X1軸連續測量水平面和傾斜面。
    • 帶有Y軸工作臺的型號,可沿Y軸進行多工件定位,從而增加了多工件測量范圍。
    • 可選的外部控制功能(外部I/O),與PLC實現雙向通信(RS-232C)。
    規格
     
    貨號 CS-5000CNC  CS-H5000CNC
    X1 軸 測量范圍 200mm 
    分辨力 0.00625µm 
    長度基準 激光全息測微計
    驅動速度 CNC型 最大40mm/s 
    操縱桿 0 - 40mm/s
    測量速度  0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓)
    測量方向 向前/ 向后 
    直線度 (使用標準測針)  (0.1+0.0015L)µm    L: 驅動長度 (mm)  (0.05+0.0003L)µm    L: 驅動長度 (mm)
    (使用二倍長型測針) (0.2+0.0015L)µm    L: 驅動長度 (mm) (0.1+0.0015L)µm    L: 驅動長度 (mm) 
    精度 (20ºC) ±(0.3+0.002L)µm    L: 驅動長度 (mm)  ±(0.16+0.001L)µm    L: 驅動長度 (mm)
    Z1 軸 (檢出器) 測量范圍 (使用標準測針)  12mm 12µm
    (使用二倍長型測針)  24mm 24µm
    分辨力 (使用標準測針)  0.004 µm 0.001 µm
    (使用二倍長型測針) 0.008 µm 0.002 µm
    測針針尖垂直運動  弧形移動
    長度基準  激光全息測微計
    精度 (20ºC) (20ºC) ±(0.3+|0.02H|)µm  H: 測量高度 (mm)  ±(0.07+|0.02H|)µm  H: 測量高度 (mm)
    測力 (使用標準測針)  4mN (固定)
    (使用二倍長型測針)  0.75mN(固定)
    跟蹤角度 向上: 60º, 向下: 60º, (根據表面粗糙度)
    測針針尖形狀 標準測針 針尖角度: 40º, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 
    標準球頭測針 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 2倍測針
     2倍測針 針尖角度: 40º, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 
     2倍測針 -  針尖角度: 60º, 針尖半徑: 2µm, 金剛石針尖 2倍球頭測針
    2倍球頭測針 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 
    測針方向  向下
    Z2 軸 (立柱) 行程范圍 Z2 軸 (立柱, S 型) 300mm
    Z2 軸 (立柱, H 型) 500mm-
    分辨力 0.05µm
    長度基準 反射型線性編碼器
    驅動速度 CNC型  最大200mm/s 
     操縱桿  0 - 50mm/s 
    基座尺寸 (W×D)  750×600mm
    基座材料 花崗巖 
    注:雖然天然石材測量桌的外觀各有不同,但材料的穩定性是值得信賴的。


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